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詳細介紹
壓電·鏡片偏擺臺 Mirrors.TxTy0303/1010
? 兩維偏轉，毫秒級運動響應，高分辨率解決方案
• 兩自由度偏擺運動；
• 搖擺多行程可選；
• ms級響應；
• 主體材料：鋁合金 & 不銹鋼；
• 最高精度μrad級別；
• 控制器 MC – Archimedes.N3S；
• 閉環傳感器：SGS；
• 支持無磁 (.NM), 高真空 (.HV) 和超高真空 (.UHV) 選件升級；
壓電位移臺快反鏡，兩維偏轉，高速擺鏡——詳細參數：
壓電位移臺快反鏡，兩位偏轉，高速擺鏡——尺寸圖：
Mirrors.TxTy0303
Mirrors.TxTy1010
多場科技Mirrors高速擺鏡系列實現單軸/雙軸/三軸全運動行程，高動態鏡片運動控制，閉環操作；支持多自由度運動，支持無磁，高真空兼容版本；也提供大行程鏡片運動控制
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