壓電陶瓷掃描臺，物鏡型，兼容無磁高真空

壓電·大范圍掃描運動 Carrier.OBxxx.C

? 針對顯微物鏡的大負(fù)載、高動態(tài)、緊湊型解決方案，用于顯微成像、自動對焦等應(yīng)用

• Z 方向運動范圍 50-400 um；

• 最快穩(wěn)定時間(90%位置穩(wěn)定)10 ms以內(nèi)；

• 閉環(huán)定位精度優(yōu)于 1 nm；

• 控制器兼容多場科技MC-Archimedes Series；

• ?持無磁 (.NM) , 高真空 (.HV) 和超高真空(.UHV)選件升級；

壓電陶瓷掃描臺，物鏡型，兼容無磁高真空——詳細(xì)參數(shù)：

壓電陶瓷掃描臺，物鏡型，兼容無磁高真空——尺寸圖：

Carrier.OB050.C

Carrier.OB100.C

Carrier.OB200.C

Carrier.OB400.C

多場科技“壓電掃描臺·物鏡型”解決方案Carrier.OB.系列主要針對精密光學(xué)，半導(dǎo)體表征等應(yīng)用場景，核心特點包括：

• Z方向單一運動方向，行程覆蓋50-400 um

• 快速運動穩(wěn)定，10 ms內(nèi)完成

• 支持高負(fù)載物鏡選項；提供多種物鏡轉(zhuǎn)接接口

• 支持第三方軟、硬件控制，實現(xiàn)自動對焦

• 支持電容(.C) 位置傳感

• 最高分辨率達到0.2 nm

• 支持無磁 (.NM), 高真空 (.HV) 和超高真空 (.UHV) 選件升級

• 控制器兼容多場科技 Motion Controller - Archimedes Series