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ARTICLES詳細介紹
Lxxx.indus 系列·壓電線性運動位移臺
極簡工業風的運動模塊
多自由度·納米級運動也可以搭積
• 超安靜運動，20 kHz驅動頻率；
• 極緊湊外形設計；
• 內置集成光學位置傳感器；
• 30, 60, 100, 180mm多行程可選；
• 高負載，支持多種拼接案例；
• 閉環控制 · 空間傳感分辨率 2 nm；
• 最小步伐優于 10 nm；
• 可提供多軸堆疊安裝轉接件；
• 支持無磁(.NM), 高真空(.HV)和超高真空(.UHV)選件；
• 控制器和Lab系列線性臺，旋轉臺和搖擺臺通用
L030.indus
尺寸：63 mm x 24 mm x 14 mm
行程：30 mm
L060.indus
尺寸：108 mm x 24 mm x 14 mm
行程：60 mm
L100.indus
尺寸：182 mm x 24 mm x 14 mm
行程：100 mm
L200.indus
尺寸：295 mm x 80 mm x 20 mm
行程：200 mm
壓電陶瓷位移臺線性運動，兼容無磁高真空——詳細參數：
壓電陶瓷位移臺線性運動，兼容無磁高真空——尺寸圖：
L030.indus
L060.indus
L100.indus
L150.indus
L200.indus
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